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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김대희 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) 서화일 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제7권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
7 - 10 (4page)

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Effect of Pd addition on crystal structures of two nickel silicides, NiSi and $NiSi_2$, is investigated by using an ab initio calculation. A Pd atom substitutes a Ni and Si site, respectively, to evaluate the preferable site between them. Pd prefers Ni site to Si site in NiSi, while it prefers Si site to Ni site in $NiSi_2$. The calculated total energy also indicates that the Pd substitution to Si site stabilizes the $NiSi_2$ structure. This calculated data matches well with the experimental data obtained from Atom probe.
#ab initio calculation #nickel silicide #Pd addition #crystal structure

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