메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
소영호 (청주대학교 반도체공학과) 송정호 (청주대학교 반도체공학과) 서동명 (청주대학교 반도체공학과) 오데레사 (청주대학교 반도체공학과)
저널정보
산업진흥원 산업진흥연구 산업진흥연구 제1권 제1호
발행연도
2016.1
수록면
1 - 6 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
산화물반도체의 결정질특성과 비정질특성을 이해하기 이하여 AZO 박막과 IGZO 박막을 증착하고 열처리하여 물리적 화학적인 특성을 비교하였다. AZO 박막은 열처리온도가 올라갈수록 결정성이 높아졌으나 IGZO 박막은 열처리온도가 높을수록 비정질특성이 우수하였다. AZO 박막은 열처리에 따라서 PL, XPS 분석에서 화학적 이동이 나타났으나 IGZO 박막은 화학적 이동이 나타나지 않았다. AZO의 O 1s 결합 에너지는 531.5 eV였으며, IGZO 박막은 530 eV으로 낮았다.
#IGZO #AZO #XPS #XRD #ZnO

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
H. M. Kim / 2005 / Heat Treatment Effects on the Electrical Properties of In2O3-ZnO films Prepared by RF-Mmagnetron Sputtering Method / Journal of the Korean Vacuum Society 14(4):238~244 google schola 유동근 / 2008 / 투명 전도성 산화물 전극으로의 응용을 위한 산화아연(ZnO) 코팅막의 습식 식각 특성연구 / Applied Science and Convergence Technology 17(1):73~79 dbpia 이봉근 / 2011 / 유연 기판 위에 증착된 IZO 박막의 구조적 및 전기적 특성 / 반도체디스플레이기술학회지 10(2):39~44 dbpia 권수경 / 2013 / 산소 유량에 따른 IZO 박막의 전기적 및 광학적 특성 / 반도체디스플레이기술학회지 12(4):49~54 dbpia 장야쥔 / 2013 / RF magnetron sputtering 법으로 형성된 IGZO 박막의 RF power에 따른 광학적 및 전기적 특성 / 반도체디스플레이기술학회지 12(1):41~45 dbpia

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0