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자료유형
학술저널
저자정보
안용덕 (청주대학교 반도체공학과) 연제호 (청주대학교 반도체공학과) 오데레사 (청주대학교 반도체공학과)
저널정보
산업진흥원 산업진흥연구 산업진흥연구 제1권 제1호
발행연도
2016.1
수록면
7 - 11 (5page)

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IGZO의 접합특성을 조사하기 위해서 진공 중에서와 대기 중에서 열처리를 하여, 전지적인 특성을 조사하였다. 진공 중에서 열처리를 한 IGZO는 비정질특성을 나타내었지만 대기 중에서 열처리를 하면 결정질 특성을 가졌다. 열처하는 방법에 따라서 산소공공의 함량이 달라지기 때문이다. 대기 중에서 열처리를 하면 IGZO의 산소공공이 증가하였다. 산소공공은 전류를 증가시키고 따라서 대기 중에서 열처리를 한 IGZO는 오믹 접합을 나타내었다. 그러나 진공 중에서 열처리를 한 IGZO는 쇼키접합을 나타냈다.
#결합에너지 #쇼키 접합

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참고문헌 (12)

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이홍우 / 2014 / 스퍼터 증착된 Zinc Tin Oxide 박막 트랜지스터의 공정 압력에 따른 특성 연구 / 반도체디스플레이기술학회지 13(1):43~49 dbpia 오성훈 / 2012 / DC, RF 마그네트론 코스퍼터링법으로 증착한 ZTO/GZO 투명전도성막의 열처리 조건이 박막의 물성에 미치는 영향 / 한국표면공학회지 45(3):117~122 dbpia 김종욱 / 2010 / RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성 / 반도체디스플레이기술학회지 9(1):29~33 dbpia 이봉근 / 2011 / 유연 기판 위에 증착된 IZO 박막의 구조적 및 전기적 특성 / 반도체디스플레이기술학회지 10(2):39~44 dbpia 우맹 / 2014 / Zn 타겟을 이용한 ZnO 박막트랜지스터의 스퍼터링 성장 / 반도체디스플레이기술학회지 13(3):35~38 dbpia

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