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본 논문에서는 투과도가 높은 OHP 필름상에 AZO 반도체 물질을 기반으로 한 광센서를 제작하여 광소자 특성 및 이를 구성하고 있는 반도체 소재의 물성에 대해 설명한다. 최근 전자소자 분야에서 주요 이슈가 되고 있는 플렉서블 광소자를 구현하기 위해서 최초로 투명하고 굽힘성이 있는 OHP 필름을 기판으로 사용하였다. 또한, 투명 전극 및 반도체 물질로 양산에 사용되고 있는 ITO는 인듐의 희소성 때문에 가격이 높다. 따라서 이 물질을 대체할 수 있는 소재를 발굴해야 하며, AZO 소재가 가능성이 있는지 Au/Al/AZO/OHP 필름 구조의 광센서 소자를 구현하여 광학 및 전기적인 특성을 평가하였다. 소자 및 이를 구성하는 소재들은 벤딩(굽힘)에 의한 물성 변화가 없었으며, 이와 같은 결과들은 차세대 소자로의 적용에 대한 가능성을 제공한다. 하지만, 양산을 위해서는 OHP 필름 표면의 미세한 스크래치를 제거해야 하며, 뿐만 아니라 광전류를 향상시킬 수 있는 재료, 구조 기반으로 최적화된 소자를 연구해야 할 것이다.
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J. I. Lee / 2020 / 3D Contact Position Estimation of Image-Based Areal Soft Tactile Sensor with Printed Array Markers and Image Sensors / Sensors 20(13):3796
A. Inoue / 2020 / Modeling and Analysis of Capacitive Relaxation Quenching in a Single Photon Avalanche Diode(SPAD)Applied to a CMOS Image Sensor / Sensors 20(10):3007
B. Xie / 2020 / Self-filtering narrowband high performance organic photodetectors enabled by manipulating localized Frenkel exciton dissociation / Nature Communications 11(2871):1~9
M. Roslina / 2020 / Self-referencing optical intensity sensor based on radio-frequency spectrum interrogation / Optical Fiber Technology 53:102009
X. Wang / 2020 / Theoretical and Experimental Study and Compensation for Temperature Drifts of Micro Thermal Convective Accelerometer / Journal of Microelectromechanical Systems 29(3):277~284
A. Inoue / 2020 / Modeling and Analysis of Capacitive Relaxation Quenching in a Single Photon Avalanche Diode(SPAD)Applied to a CMOS Image Sensor / Sensors 20(10):3007
B. Xie / 2020 / Self-filtering narrowband high performance organic photodetectors enabled by manipulating localized Frenkel exciton dissociation / Nature Communications 11(2871):1~9
M. Roslina / 2020 / Self-referencing optical intensity sensor based on radio-frequency spectrum interrogation / Optical Fiber Technology 53:102009
X. Wang / 2020 / Theoretical and Experimental Study and Compensation for Temperature Drifts of Micro Thermal Convective Accelerometer / Journal of Microelectromechanical Systems 29(3):277~284
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