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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이봉근 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 이규만 (한국기술교육대학교 신소재공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제10권 제2호
발행연도
2011.1
수록면
39 - 44 (6page)

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In this study, we have investigated the structural and electrical characteristics of IZO thin films deposited on flexible substrate for the OLED (organic light emitting diodes) devices. For this purpose, PES was used for flexible substrate and IZO thin films were deposited by RF magnetron sputtering under oxygen ambient gases (Ar, $Ar+O_2$) at room temperature. In order to investigate the influences of the oxygen, the flow rate of oxygen in argon mixing gas has been changed from 0.1sccm to 0.5sccm. All the samples show amorphous structure regardless of flow rate. The electrical resistivity of IZO films increased with increasing flow rate of $O_2$ under $Ar+O_2$. All the films showed the average transmittance over 85% in the visible range. The OLED device was fabricated with different IZO electrodes made by configuration of IZO/a-NPD/DPVB/$Alq_3$/LiF/Al to elucidate the performance of IZO substrate. OLED devices with the amorphous-IZO (a-IZO) anode film show better current density-voltage-luminance characteristics than that of OLED devices with the commercial crystalline-ITO (c-ITO) anode film. It can be explained that very flat surface roughness and high work function of a-IZO anode film lead to more efficient hole injection by reduction of interface barrier height between anode and organic layers. This suggests that a-IZO film is a promising anode materials substituting conventional c-ITO anode in OLED devices.
#Flexible substrate #IZO thin film #OLED #RF-magnetron sputtering

목차

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노경헌 / 2002 / 비정질 투명전도막 In2O3:Zn의 전기적 광학적 특성 / 한국광학회지 13(5):455~459 google schola 김용성 / 2007 / In 도핑된 ZnO 박막의 투명 전극과 유기 발광 다이오드 특성 / 한국세라믹학회지 44(6):303~307 google schola 정지원 / 2006 / Indium Zinc Oxide 박막 특성에 대한 O2 농도와 열처리 온도의 영향 / 공업화학 17(6):644~647 google schola Y. S. Jung / 200311 / Influence of DC magnetron sputtering parameters on the properties of amorphous indium zinc oxide thin film / THIN SOLID FILMS 445(1):63~71 google schola 배정혁 / 2006 / 박스 캐소드 스퍼터로 성장시킨 전면 발광 OLED용상부 InZnO 캐소드 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성 연구 / 전기전자재료학회논문지 19(5):442~449 dbpia

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