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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
오성훈 (부산대학교) 강세원 (부산대학교) 이건환 (한국기계연구원) 정우석 (한국전자통신연구원) 송풍근 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제45권 제3호
발행연도
2012.6
수록면
115 - 120 (6page)

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ZTO/GZO double layered films were prepared on unheated non-alkali glass substrates. ZTO films were deposited by RF/DC hybrid magnetron co-sputtering using ZnO (RF) target and SnO₂ (DC) targets, and then GZO films were deposited by DC magnetron sputtering using an GZO (Ga₂O₃:5.57 wt%) target. These films were post-annealed at temperature of 200, 300℃ in air and vacuum ambient for 30 min. In the case of post-annealing in air, ZTO/GZO double layer showed relatively low resistivity change, compared to GZO single layer. Furthermore, ZTO/GZO double layer revealed low WVTR, compared to GZO single layer. Therefore, it can be confirmed that ZTO film doing a role with barrier for water or oxygen diffusion.
#ZTO #GZO #Double layer #Post-annealing #WVTR

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
김규호 / 2005 / R.F Sputtering 법으로 증착한 ITO 박막의 미세구조와 전기.광학적 특성 / 한국표면공학회지 38(4):150~155 google schola Z. C. Jin / 1988 / Thin Solid Films 64:381 google schola 문진욱 / 2007 / RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 ITO박막의 열처리 특성 연구 / 한국표면공학회지 40(3):117~124 dbpia D. R. Sahu / 2007 / Microelectron. J. 38:299 google schola S. J. Henley / 2004 / Surf. Coat. Technol. 177:271 google schola

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