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자료유형
학술저널
저자정보
김종필 (한양대학교 전자전기제어계측공학과) 노영록 (한양대학교 전자전기제어계측공학과) 조경철 (한국과학기술연구원 에너지재료센터) 이상렬 (한국과학기술연구원 에너지재료센터) 박진석 (한양대학교 전자전기제어계측공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제8권 제4호
발행연도
2009.1
수록면
65 - 69 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

산화아연막이 증착된 탄소 나노튜브의 전계방출 특성
김종필 ,  노영록 ,  이상렬 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.07 학술대회자료
갈륨이 첨가된 산화아연막의 코팅에 따른 미세팁 구조 탄소나노튜브의 전계방출 특성 및 장시간 안정성
김종필 ,  노영록 ,  조경철 외 2명 반도체및디스플레이장비학회지 2009.01 학술저널

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Carbon nanotubes (CNTs) were coated with undoped zinc oxide (ZnO) or 5 wt% gallium-incorporated ZnO (GZO) using various deposition conditions. The CNTs were directly grown on conical-type tungsten substrates at $700^{\circ}C$ using inductively coupled plasma-chemical vapor deposition. The pulsed laser deposition technique was used to deposit the ZnO and GZO thin films with very low stress. Field-emission scanning electron microscopy and high-resolution transmission electron microscopy were used to monitor the variations in the morphology and microstructure of CNTs prior to and after ZnO or GZO coating. The formation of ZnO and GZO films on CNTs was confirmed using energy-dispersive x-ray spectroscopy. In comparison to the as-grown (uncoated) CNT emitter, the CNT emitter that was coated with a thin (10 nm) GZO film showed remarkably improved field emission characteristics, such as the emission current of $325\;{\mu}A$ at 1 kV and the threshold field of $1.96\;V/{\mu}m$ at $0.1\;{\mu}A$, and it also exhibited the highly stable operation of emission current up to 40 h.
#Carbon nanotubes #Inductively coupled plasma-chemical vapor deposition #ZnO and ZnO:Ga thin films #Pulsed laser deposition #Field emission property #Long-term stability

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