Molybdenum and Cobalt Silicide Field Emitter Arrays

Lee, Jong-Duk; Shim, Byung-Chang; Park, Byung-Gook; Kwon, Sang-Jik

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자료유형: 학술저널

저자정보: Lee, Jong-Duk (Inter-University semiconductor Research Center and School of Electrical Engineering, Seoul National University) Shim, Byung-Chang (Inter-University semiconductor Research Center and School of Electrical Engineering, Seoul National University) Park, Byung-Gook (Inter-University semiconductor Research Center and School of Electrical Engineering, Seoul National University) Kwon, Sang-Jik (department of Electronics Engineering, Kyungwon University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 Journal of information display Journal of information display 제1권 제1호

발행연도: 2000.1

수록면: 63 - 69 (7page)

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In order to improve both the level and the stability of electron emission, Mo and Co silicides were formed from Mo mono-layer and Ti/Co bi-layers on single crystal silicon field emitter arrays (FEAs), respectively. Using the slope of Fowler-Nordheim curve and tip radius measured from scanning electron microscopy (SEM), the effective work function of Mo and Co silicide FEAs were calculated to be 3.13 eV and 2.56 eV, respectively. Compared with silicon field emitters, Mo and Co silicide exhibited 10 and 34 times higher maximum emission current, 10 V and 46 V higher device failure voltage, and 6.1 and 4.8 times lower current fluctuation, respectively. Moreover, the emission currents of the silicide FEAs depending on vacuum level were almost the same in the range of $10^{-9}{\sim}10^{-6}$ torr. This result shows that silicide is robust in terms of anode current degradation due to the absorption of air molecules.

#Molybdenum silicide #cobalt silicide #field emitter arrays

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Lee, Jong-Duk

소속기관 Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering and Compu

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 31 이용수 6

Shim, Byung-Chang

소속기관 Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering, Seoul Na

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Park, Byung-Gook

소속기관 Inter-University Semiconductor Research Center [ISRC] and School of Electrical Engineering and Compu

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Kwon, Sang-Jik

소속기관 Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University

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