RTA를 이용한 COBALT-SILICIDE의 형성에 관한 연구 ( FORMATION OF COBALT SILICIDE BY RTA )

한승윤 ,  손승철 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Cobalt Silicide and its Growth Rate by Rapid Thermal Annealing ( RTA ) )

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

Si기판에 주입된 As이온이 Titanium-Silicides 형성에 미치는 영향 - 1 - ( Effects of As Ions Implanted in Si Substrates on the Titanium-Silicides Formation )

정주혁 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1989 .06

Molybdenum and Cobalt Silicide Field Emitter Arrays

Lee ,  Jong-Duk ,  Shim 외 6명

Journal of information display

2000 .01

복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화

송오성 ,  정성희 ,  이상돈 외 2명

한국재료학회지

2003 .01

Electrical Characteristics of Titanium Silicided Shallow Junction

박지수 ,  손동균 ,  변정수 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Effects of Etch-Induced Damage and Contamination on the Physical and Electrical Properties of Cobalt Silicides

H. S. Kim ,  J. W. Jang ,  Y. H. Lee 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

코발트/니켈 적층구조 박막으로부터 형성된 복합실리사이드

송오성 ,  정성희 ,  김득중 외 1명

한국재료학회지

2004 .01

Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]

최진석 ,  백수현 ,  송영식 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

Cobalt Interlayer 와 TiN capping를 갖는 새로운 구조의 Ni-Silicide 및 Nano CMOS에의 응용

오순영 ,  윤장근 ,  박영호 외 4명

전자공학회논문지-SD

2003 .12

코발트 니켈 합금 구조에서 생성된 실리사이드의 마이크로 핀홀의 발생

송오성 ,  김상엽 ,  전장배 외 1명

한국재료학회지

2006 .01

니켈 실리사이드의 열안정성에 대한 실리카 상부막과 코발트 중간막의 영향

한길진 ,  조유정 ,  김영철 외 4명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

Poly-Si에 첨가한 도펀트가 Titanium Silicides 형성에 미치는 영향 2 ( Effects of Dopants Introduced into the Poly-Si on the Formation of Ti-Silicides )

유윤수 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1990 .02

코발트/니켈 합금박막으로부터 형성된 복합실리사이드

송오성 ,  정성희 ,  김득중

한국재료학회지

2004 .01

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 - 2 - ( On the Formation of Ta-Silicides - 2 - )

양희준 ,  김동원 ,  최진석 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 ( 1 ) ( On the formation of Ta-Silicides - 1 - )

양희준 ,  최진석 ,  조현춘 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

On the formation of Ta-silicides -2-

Hee-Jun Yang ,  Dong-Won Kim ,  Jin-Seog Choi 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11