RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Cobalt Silicide and its Growth Rate by Rapid Thermal Annealing ( RTA ) )

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

Titanium과 Cobalt silicide의 연구

김상용 ,  유석빈 ,  서용진 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

RTA 에 의한 Ta-silicide 형성시 불순물 인이 미치는 영향

김동준 ,  강대술 ,  박종완

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Molybdenum and Cobalt Silicide Field Emitter Arrays

Lee ,  Jong-Duk ,  Shim 외 6명

Journal of information display

2000 .01

Effects of Etch-Induced Damage and Contamination on the Physical and Electrical Properties of Cobalt Silicides

H. S. Kim ,  J. W. Jang ,  Y. H. Lee 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

코발트/니켈 적층구조 박막으로부터 형성된 복합실리사이드

송오성 ,  정성희 ,  김득중 외 1명

한국재료학회지

2004 .01

복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화

송오성 ,  정성희 ,  이상돈 외 2명

한국재료학회지

2003 .01

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 - 2 - ( On the Formation of Ta-Silicides - 2 - )

양희준 ,  김동원 ,  최진석 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 ( 1 ) ( On the formation of Ta-Silicides - 1 - )

양희준 ,  최진석 ,  조현춘 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

On the formation of Ta-silicides -2-

Hee-Jun Yang ,  Dong-Won Kim ,  Jin-Seog Choi 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]

최진석 ,  백수현 ,  송영식 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

급속열처리시 Ta-silicide박막 형성에 미치는 불순물 인의 영향

김동준 ,  강대술 ,  강성군 외 3명

한국재료학회지

1994 .01

코발트 니켈 합금 구조에서 생성된 실리사이드의 마이크로 핀홀의 발생

송오성 ,  김상엽 ,  전장배 외 1명

한국재료학회지

2006 .01

니켈 실리사이드의 열안정성에 대한 실리카 상부막과 코발트 중간막의 영향

한길진 ,  조유정 ,  김영철 외 4명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

코발트/니켈 복합실리사이드의 실리사이드온도에 따른 면저항과 미세구조 변화

정영순 ,  정성희 ,  송오성

한국재료학회지

2004 .01

RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

코발트/니켈 합금박막으로부터 형성된 복합실리사이드

송오성 ,  정성희 ,  김득중

한국재료학회지

2004 .01

급속 열처리 장치에 의한 코발트 실리사이드 형성과 성장에 관한 연구 ( A Study on the Formation and Growth of Cobalt Silicide by Rapid Thermal Processor )

박종성 ,  박세근

대한전자공학회 학술대회

1990 .01