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저자정보
Nishida, K. (IHI Corporation) Kawakami, R. (IHI Corporation) Izawa, J. (IHI Corporation) Kawaguchi, N. (IHI Corporation) Matsuzaka, F. (IHI Corporation) Masaki, M. (IHI Corporation) Morita, M. (IHI Corporation) Yoshinouchi, A. (IHI Corporation) Kawasaki, Y. (IHI Corporation)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
발행연도
2007.1
수록면
911 - 914 (4page)

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We developed the laser annealing system using green laser of 261W(5kHz) and 75.5mJ/pulse(2kHz). We confirmed that this system makes it possible to form two kinds(large or uniformed grain) of poly-Si by changing its polarized directions. By using ${\mu}-crystal-Si$ as irradiated films, grain size uniformity is better than that using a-Si.

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