지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.1
- 수록면
- 1 - 3 (3page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
For excimer laser annealing (ELA), energy density, number of pulses, beam uniformity, and condition of initial amorphous Si (a-Si) films are significant factors contributing to the final microstructure and the performance of low-temperature polycrystalline Si (LTPS) TFTs. Although the process and equipment have been significantly improved, the environmental factors associated with initial amorphous Si (a-Si) films and process conditions are yet to be optimized.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Excimer-Laser Crystallization for Low-Temperature Polycrystalline Si TFTs
한국정보디스플레이학회 학술대회
2000 .01
-
Effective Annealing and Crystallization of Si Film for Advanced TFT System
Journal of information display
2010 .01
-
Excimer Laser Annealing 결정화 방법 및 고유전게이트 절연막을 사용한 poly-Si TFT의 특성
전기전자재료학회논문지
2008 .01
-
ELA(Excimer laser Annealing)에 의한 poly-Si의 $O_2$plasma에 의한 계면 거칠기 제어와 poly-Si TFT 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
-
Effective Annealing and Crystallization of Si film for Advanced TFT System
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
-
Effective ELA for Advanced Si TFT System on Insulator
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
-
Parametric Study for Excimer Laser-induced Crystallization in the a-Si thin film
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
-
a-Si TFT용, Si $O_{x}$의 저온성장에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
Improvement in Electrical Stability of poly-Si TFT Employing Vertical a-Si Offsets
한국정보디스플레이학회 학술대회
2000 .01
-
Thin Film Transistor (TFT) Pixel Design for AMOLED
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
-
Fabrication of polycrystalline Si films by rapid thermal annealing of amorphous Si film using a poly-Si seed layer grown by vapor-induced crystallization
한국재료학회 학술발표대회
2010 .01
-
Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing을 이용한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터에의 응용
한국재료학회지
2014 .01
-
플레티늄-실리사이드를 이용한 쇼트키 장벽 다결정 박막 트랜지스터
전기전자재료학회논문지
2009 .01
-
XeCl Excimer Laser Annealing Used to Fabricate Poly-Si TFT`s
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
-
Application of 532 ㎚ Nd:YAG Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
-
마이크로웨이브법으로 고상결정화 시킨 poly-Si 박막을 이용하여 제작한 저온 poly-Si TFT의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
Characteristics of Poly-Si TFTs Fabricated on Flexible Substrates using Sputter Deposited a-Si Films
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2005 .01
-
Application of Rapid Thermal Annealing To Activation in Low Temperature Polycrystalline Si Thin Films
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2007 .01
-
선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0