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학술저널
저자정보
윤욱희 (연세대학교 금속공학과) 명재민 (연세대학교 금속공학과) 이동희 (연세대학교 금속공학과) 배상혁 (연세대학교 전기공학과) 윤일구 (연세대학교 전기공학과) 이상렬 (연세대학교 전기공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제11권 제4호
발행연도
2001.1
수록면
319 - 323 (5page)

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펄스레이저 증착법 (PLD)으로 (0001)면 사파이어 기판 위에 성장시킨 ZnO 박막의 두게 변화가 표면형상, 결정성 및 전기/광학적 특성에 미치는 효과에 대하여 조사하였다. SEM 및 XRD 분석을 통해 약 4000 의 두께에서 3차원 island들이 생성되며, 박막의 두께가 증가함에 따라 결정립의 크기가 증가하고, 결정성이 향상되었음을 알 수 있었다 상온에서의 PL 측정을 통해 두께가 증가함에 따라 ultraviolet(UV) 및 deep level emission peak의 강도가 급격히 증가함을 알 수 있었다. Hall측정 결과, 모든 박막들이 H형 전도도를 보였고, 운반자농도가 $10^{19}$ $cm^{-3}$ 이상이었으며, 두께가 증가할수록 운반자농도가 감소하여 약 4000 에서 포화되는 경향을 보였다. 따라서, 사파이어 기판 위에 증착시킨 ZnO 박막은 약 4000 의 두께에서 bulk ZnO의 특성을 나타내었다.
#ZnO #thin films #PLD #strain #PL

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