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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2000.1
- 수록면
- 49 - 49 (1page)
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(hfac)Cu(DMB)를 이용한 구리박막의 유기금속 화학증착
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대한전자공학회 학술대회
1997 .01
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High-Quality and High Deposition Rate of MOCVD Cu by the Additional H2 Gas
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
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MOCVD 방식으로 증착한 Cu 박막의 Electronmigration 특성
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1999 .06
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In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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Growth of c-axis Superconducting YBCO Films on Cu Substrate Using Cu-Free MOCVD Process
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Ti와 $SiO_2$상에서의 MOCVD Cu의 성장
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Selectivities of MOCVD -Cu Films on Different Substrate
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