Fabrication and Characteristics of CVD Cu Thin Films Using ( Hfac ) Cu ( VTMOS )

이종현 ,  이재곤 ,  박상준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

(hfac)Cu(vtmos)의 액체분사법에 의한 TiN 기판상 구리박막의 유기금속 화학증착 특성

전치훈 ,  김윤태 ,  김대룡

한국재료학회지

1999 .01

MOVCD에 있어서 구리(l)전구체들의 열적 안정성이 증착에 미치는 영향

박만영 ,  이시우

한국재료학회지

1998 .01

Cu 산화 공정과 H(hfac)을 이용한 Cu 박막의 건식 식각

양희정 ,  조범석 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

(hfac)Cu(DMB)를 이용한 Cu MOCVD에서 water vapor의 영향

김훈 ,  김현미 ,  김기범

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Cu(II) Hexafluoroacetylacetonate 프리커서에 의한 구리 화학증착의 열역학적 평형조성 해석

전치훈 ,  김윤태 ,  백종태 외 4명

한국재료학회지

1995 .01

(hfac)Cu(1,5-DMCOD) 전구체를 이용한 MOCVD Cu 박막의 증착특성 연구

변인재 ,  서범석 ,  양희정 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Cu oxide의 형성과 H(hfac) 반응을 이용한 Cu 박막의 건식식각

양희정 ,  홍성진 ,  조범석 외 2명

한국재료학회지

2001 .01

(hfac)Cu(DMB)를 이용한 구리박막의 유기금속 화학증착

강상우 ,  한상호 ,  이시우

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과

최정환 ,  변인재 ,  양희정 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

The Effects of H₂ Addition on Copper Seed Layer from a (hfac)Cu(VTMOS) by RF-PEALD

Dae Yong Moon ,  Woong Sung Kim ,  Tae Sub Kim 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

수소 환원기체와 (hfac)Cu(3,3-dimethyl-1-butene) 증착원을 이용한 Pulsed MOCVD로 Cu seed layer 증착 특성에 미치는 영향에 관한 연구

박재범 ,  이진형 ,  이재갑

한국재료학회지

2004 .01

(hfac)Cu(1,5-DMCOD) 전구체를 이용한 MOCVD Cu 증착 특성에 미치는 환원기체와 첨가제의 영향에 관한 연구

변인재 ,  서범석 ,  양희정 외 2명

한국재료학회지

2001 .01

Cu 함유량에 따른 Mo-Cu 박막의 전기적 특성 연구

이한찬 ,  문경일 ,  이붕주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .07

중성리간드(L)가 (hfac)Cu(I)L 전구체의 특성 및 구리 MOCVD 공정에 미치는 영향

최경근 ,  김경원 ,  이시우

한국재료학회지

2001 .01

Cu/Ti/Si 다층 박막의 증착조건에 따른 Cu 박막의 특성 연구

홍성진 ,  양희정 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

An important factor for the water gas shift reaction activity of Cu-loaded cubic Ce_0.8Zr_0.2O₂ catalysts

Won-Jun Jang ,  Hyun-Seog Roh ,  Dae-Woon Jeong

Environmental Engineering Research

2018 .09

Cu 치환에 따른 $(Ru_{1-x}Cu_x)Sr_2(Eu_{1.34}Ce_{0.66})Cu_2O_z$ 계의 초전도 특성

이호근

Progress in superconductivity

2009 .01

Ni/Cu, Co/Cu 나노다층박막의 전기화학적 제조 및 특성평가

김이진 ,  이관희 ,  정원용

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

액상 구리 전구체 hfac (hexafluoroacetylacetonate) Cu(I) DMB (3,3-dimethyl-1-butene)의 특성 평가

이시우 ,  강상우 ,  한상호

한국재료학회지

1999 .01