공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과

최정환 ,  변인재 ,  양희정 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD 방법으로 증착된 TaN와 무전해도금된 Cu 박막 계면의 열적안정성 연구

이은주 ,  김정식

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD 방법으로 증착된 TaN와 무전해 도금된 Cu박막 계면의 열적 안정성 연구

이은주 ,  김정식 ,  황응림 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Selectivities of MOCVD -Cu Films on Different Substrate

곽성관 ,  김영석 ,  김용태 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )

장동훈 ,  강성준 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1997 .06

열처리 조건에 따른 MOCVD Cu 박막의 특성 변화

김동원

한국재료학회지

1997 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Ti와 $SiO_2$상에서의 MOCVD Cu의 성장

한성희 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Growth of c-axis Superconducting YBCO Films on Cu Substrate Using Cu-Free MOCVD Process

Kim ,  Young-Ha ,  Kim 외 11명

한국초전도학회 학술대회

2009 .01

High-Quality and High Deposition Rate of MOCVD Cu by the Additional H2 Gas

이종현 ,  박병남 ,  김재호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

MOCVD 법에 의해 증착 된 coated conductor용 $YBa_{2}$$Cu_{3}$$O_{7-x}$의 증착조건

선종원 ,  전병혁 ,  김찬중

한국초전도저온공학회 학술대회

2003 .01

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD 방법으로 증착된 $SnO_2$ 박막의 CO 가스 감지 특성

박경희 ,  류현욱 ,  이우선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

백색 LED증착용 MOCVD장치의 유도 가열 해석

홍광기 ,  주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

PE-MOCVD 법에 의해 증착된 SiC 박막의 특성

박승준 ,  한전건

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

증착시 산소 첨가가 MOCVD Pt 박막의 미세구조에 미치는 영향

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01