Magnetron sputtering 법으로 제조된 Al-1%Cu/Tungsten Nitride 다층 박막

이기선 ,  김장현 ,  서수정 외 1명

한국재료학회지

2000 .01

DC 반응성 스퍼터링된 TiN 박막의 구조적 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Properties of Reactively Sputtered Titanium Nitride Films )

류성룡 ,  오원웅 ,  최진석 외 6명

전자공학회논문지-A

1992 .08

REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS

David J. Ha ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Reactive Sputtering을 이용한 Molybdenum Nitride의 제조 ( Molybdenum Nitride Formation by Reactive Sputtering )

김진섭 ,  이종현 ,  이우일

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Sputtering법으로 제조된 TaNx 박막의 제조조건에 따른 전기저항 변화

최용락 ,  김선화

한국재료학회지

1997 .01

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

텅스텐 첨가에 따른 V_2-nW_nO₅ 박막의 구조적, 전기적 특성

남성필 ,  이성갑 ,  배선기 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .10

Effects of Sputter Parameters on Electrochromic Properties of Tungsten Oxide Thin Films Grown by RF Sputtering

Nah ,  Yoon-Chae

한국재료학회지

2011 .01

SPUTTER-DEPOSITION OF CARBON NITRIDE FILMS WITH HIGH NITROGEN CONCENTRATION

Yusuke TAKI ,  Osamu TAKAI

한국표면공학회지

1996 .10

텅스텐을 첨가한 V_2-xW_xO₅ 박막의 전기적 특성

남성필 ,  노현지 ,  이성갑 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .07

Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

A Study on the Anisotropic Etching of Tungsten-Nitride Using SF6 Plasma

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

A Research on the Anisotropic Etching of Tungsten-Nitride for X-Ray Mask

H. G. Lee ,  C. Y. Jeong ,  S. Y. Lee 외 6명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

플라즈마 증착된 Tungsten Nitride barrier layer에 의한 Al spiking 억제효과

이창우 ,  이주천 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

플라즈마 증착된 Tungsten Nitride Barrier Layer에 의한 Al Spiking 억제효과 ( Suppression of Al Spiking by the Plasma Deposited Tungsten Nitride Barrier Layer )

이창우 ,  이주천 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

마그네트론 스터퍼에 의한 Carbon Nitride 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

朴球範

전기학회논문지 P

2003 .09

Oxidation of W-10%Ni Coatings Sputter Deposited on Steel

Jae Chun Lee ,  Thuan Dinh Nguyen ,  Dong Bok Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06