구리확산방지막으로서 Molybdenum Nitride 박막의 열적안정성 연구

이정엽 ,  이재석 ,  박종완 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS

David J. Ha ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Reactive Sputtering 법으로 제조된 Tungsten Nitride 박막의 열적 안정성 및 전기저항

이기선 ,  이병학 ,  손동균

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

Tin Nitride Thin Films Fabricated by Reactive RF Magnetron Sputtering at Various Nitrogen Gas Ratios

Sujin Choi ,  Juyun Patk ,  Jisoo Kang 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering

Jung-hyo Kim ,  Byung-Chul Cha ,  Keun-Hak Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Reactive sputtering법으로 제조된 $CeO_2$ 박막의 특성에 관한 연구

홍진석 ,  김영일 ,  백홍구

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Effects of Substrate Temperature and Deposition Angle on Crystallinity of Tin-nitride Films Synthesized by Reactive Sputtering

Masataka Kato ,  Taku Ishii ,  Yusuke Ohta 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

초기 스퍼터링조건이 스테인리스강의 이온질화시 질화층 형성거동에 미치는 영향

최상진 ,  손명숙 ,  이대용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .10

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

SPUTTER-DEPOSITION OF CARBON NITRIDE FILMS WITH HIGH NITROGEN CONCENTRATION

Yusuke TAKI ,  Osamu TAKAI

한국표면공학회지

1996 .10

Cu 금속배선을 위한 Molybdenum Nitride 확산 방지막 특성

이정엽 ,  박종완

한국재료학회지

1996 .01

직류 마그네트론 스퍼터링 공정 중 타겟 오염에 따른 박막 및 계면 형성 특성

이진영 ,  허민 ,  이재옥 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

전극용 몰리브덴 핀 제조-직선 처리기술 메커니즘 설계

이정익

한국기계기술학회지

2020 .01

Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

저압가스질화에서 탄소강의 초기 화합물층 형성 거동

김윤기 ,  김상권

한국표면공학회지

2011 .06

포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구

문경일 ,  변상모 ,  조용기 외 2명

열처리공학회지

2005 .01

A study on optimization of process condtion to obtain micro molybdenum powder by hydrogen reduction method

S. S. Lim ,  S. J. Lim ,  Y. B. Kim 외 2명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2017 .05