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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1992.7
- 수록면
- 365 - 369 (5page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
1992
플라즈마 증착된 Tungsten Nitride Barrier Layer에 의한 Al Spiking 억제효과 ( Suppression of Al Spiking by the Plasma Deposited Tungsten Nitride Barrier Layer )
이창우
,
이주천
,
김용태
외 1명
대한전자공학회 학술대회
1992.07
학술대회자료
플라즈마 증착된 Tungsten Nitride barrier layer에 의한 Al spiking 억제효과
이창우
,
이주천
,
김용태
외 1명
대한전자공학회 학술대회
1992.06
학술대회자료
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