SYNTHESIS OF CARBON NITRIDE THIN FILMS BY PLASMA PROCESSING

Osamu Takai ,  Yusuke Taki ,  Toshihisa Kitagawa

한국표면공학회지

1996 .10

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

SPUTTER-DEPOSITION OF CARBON NITRIDE FILMS WITH HIGH NITROGEN CONCENTRATION

Yusuke TAKI ,  Osamu TAKAI

한국표면공학회지

1996 .10

Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering

최대한 ,  장호성 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

저압가스질화에서 탄소강의 초기 화합물층 형성 거동

김윤기 ,  김상권

한국표면공학회지

2011 .06

스퍼터링법으로 합성한 BCN 박막의 내식성

변응선 ,  손명숙 ,  이구현 외 1명

한국표면공학회지

2003 .06

기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성

이성필 ,  이지공

전기전자재료학회논문지

2003 .01

The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system

신경식 ,  이호영 ,  정윤모 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구

문경일 ,  변상모 ,  조용기 외 2명

열처리공학회지

2005 .01

Carbon nitride based electrochemical ammonia synthesis catalyst

장호철 ,  김현종 ,  임하나 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

마그네트론 스퍼터링으로 합성된 저밀도 탄소 박막의 미세구조 및 물리적 특성에 대한 고찰

김성일 ,  심병철 ,  최윤석 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

Synthesis of Carbon Nitride Films by Dual Microwave Plasma Source CVD

Osamu Ikai ,  Takayoshi Kiguchi ,  Ma 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF-PACVD를 이용한 Hydrogenated Carbon Nitride박막의 합성 및 특성에 관한 연구

이철화 ,  김병수 ,  박구범 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

Tin Nitride Thin Films Fabricated by Reactive RF Magnetron Sputtering at Various Nitrogen Gas Ratios

Sujin Choi ,  Juyun Patk ,  Jisoo Kang 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering

Jung-hyo Kim ,  Byung-Chul Cha ,  Keun-Hak Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

ARE법에 의한 Cubic Boron Nitride박막의 합성

변응선 ,  백운승 ,  이성훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1995 .05

REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS

David J. Ha ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Characterization of Alpha Beta Nitride in Buried Nitride SOI Substrate

M. C. Poon ,  S. Kwong ,  H. Wong

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01