소자분리를 위한 선택적 실리콘 에피택시 ( Selective Si Epitaxy for Device Isolation )

양전욱 ,  조경익 ,  박신종

전자공학회논문지

1986 .11

Silicon Epitaxy

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

증착 조건에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상결정화 거동과 미세구조의 변화

황석민 ,  류명관 ,  김기범 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Selective Silicon Epitaxy에 대한 연구 ( Study on the Selective Silicon Epitaxy )

조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Silicon Epitaxy에서 일어나는 Pattern Shift에 대한 연구 ( Pattern Shift in Silicon Epitaxy )

백문철 ,  조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

SiO2 위에 MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) 로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구 ( A Study on the Crystallization Behaviors of Amorphous Si1-xGex Films Deposited by MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) on SiO2 and on their Microstructures after annealing )

황장원 ,  류명관 ,  김기범

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Laser를 이용하지 않는 비정질 실리콘 박막의 극저온결정화

신종배 ,  김병수 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

Solid source Si MBE를 이용하여 Si(100) 기판위에 저온에서 성장된 SiGe 박막의 결정 구조 변화에 관한 연구

이승창 ,  윤선진 ,  박신종 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

분자선 에피택시 장치 제작 및 진단

임재영 ,  이철로 ,  노삼규 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Silicon / Materials , Epitaxy / CVD

민석기

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

a-Si / a-Si1-xGex 박막의 고상 결정화 온도에 따른 성장거동 및 미세구조에 관한 연구

김홍승 ,  이정용 ,  송윤호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

전계 유도 방향성 결정화를 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구

송경섭 ,  전승익 ,  박상현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

SiO2 위에 MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) 로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구

황장원 ,  류명관 ,  김기범 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

분자선 에피택시

김봉렬

전자공학회잡지

1983 .10

Enhanced Crystallization of Si at Low Temperature by $O_2$ Flow during Deposition

Nam ,  Hyoung-Gin ,  Koo 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01

Solid-Source Si Molecular Beam Epitaxy를 이용한 Si , SiGe 박막의 선택적 성장기술의 연구

윤선진 ,  이승창

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

태양전지용 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  유진수 ,  강기환 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

박막의 미세구조가 물리적 특성에 미치는 영향

양지훈 ,  김성환 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

$NiCl_2$ 화합물 분위기를 이용한 비정실 실리콘 박막의 저온 결정화

안경민 ,  이승렬 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

선택적 액상 에피택시에 의한 집적광학용 수동소자

김상배 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1986 .12