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HIGH QUALITY SELECTIVE EPITAXY GROWTH OF SILICON FOR DEVICE ISOLATION
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
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선택적 에피택시를 위한 에피택셜층 및 폴리실리콘의 성장과 에칭 ( Growth and Etching of Epitaxial Layer and Polysilicon for the Selective Epitaxy )
전자공학회지
1985 .01
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선택적 액상 에피택시에 의한 집적광학용 수동소자
대한전자공학회 학술대회
1986 .12
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선택적 액상 에피택시에 의한 집적 광학용 수동소자 ( Integrated Optical Passive Devices Fabricated by Selective Liquid Phase Epitaxy )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
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저온 Si 에피택시 박막의 결정화 거동 및 미세구조에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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Selective Silicon Epitaxy에 대한 연구 ( Study on the Selective Silicon Epitaxy )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
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비소화 갈륨 (GaAs)의 선택적 액상 에피택시 : 성장기구 및 형태
대한전기학회 학술대회 논문집
1986 .07
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분자선 에피택시 장치 제작 및 진단
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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새로운 Isolation 방법을 통한 소자 특성 개선에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
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새로운 Isolation 방법을 통한 소자 특성 개선에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of device Characteristics by the New Isolation Method )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
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분자선 에피택시
전자공학회잡지
1983 .10
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Selective epitaxy를 위한 다결정 및 단결정 실리콘의 성장과 예칭에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1983 .11
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Solid-Source Si Molecular Beam Epitaxy를 이용한 Si , SiGe 박막의 선택적 성장기술의 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
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실리콘 3차원구조 소자를 위한 기반기술 연구 ( Fundamental Study on Technology for 3D Structured Device )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
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실리콘 3차원구조 소자를 위한 기반기술 연구 ( Fundamental Study on Technology for 3D Structured Device )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
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Silicon Epitaxy
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
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선택적 단결정 실리콘 성장의 고집적 소자 적용 기술
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
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승온중 수소 분위기 제어에 의한 선택적 Si 에피텍시 성장
한국재료학회지
2002 .01
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고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장
한국재료학회지
1998 .01
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Strained Growth Behavior in Selective Silicon Epitaxy
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
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