$NiCl_2$ 화합물 분위기를 이용한 비정실 실리콘 박막의 저온 결정화

안경민; 이승렬; 안병태

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 안경민 (한국과학기술원 신소재공학과) 이승렬 (한국과학기술원 신소재공학과) 안병태 (한국과학기술원 신소재공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및

발행연도: 2007.1

수록면: 511 - 511 (1page)

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안병태

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