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반응성 스퍼터링 법으로 제조된 WNx 막의 결정 구조
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 면저항분석
한국안광학회지
1999 .06
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 XPS 분석
한국안광학회지
1998 .12
P-type Electrical Characteristics of the Amorphous La₂NiO4+δ Thin Films
한국표면공학회지
2018 .08
Properties of SrBi2Ta2O9 Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
DEGRADATION OF Zn₃N₂ FILMS PREPARED BY REACTIVE RF MAGNETRON SPUTTERING
한국표면공학회지
1996 .10
Ta2O5 Capacitor전극으로의 PECVD-WNx박막 적용 연구 ( Application of PECVD-WNX Electrode for Ta2O5 Capacitor )
대한전자공학회 워크샵
1997 .01
RF Power에 따른 Amorphous-InGaZnO 박막의 특성 변화
전기전자재료학회논문지
2010 .01
RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1994 .01
RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
The Properties of PECVD-WNx Films as a Glue Layer of CVD Tungsten for Submicron Contact Technology
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
WNx 에미터 전극을 갖는 자기정렬 AlGaAs / GaAs HBT의 제작과 특성 ( Fabrication and Characteristics of Self-aligned AlGaAs / GaAs HBT using WNx , as emitter metal )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
Rf-magnetron Sputtering 장치에 의해 제작된 SiO2가 도핑된 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성
전기전자재료학회논문지
2009 .01
RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
RF magnetron sputtering법으로 형성된 IGZO박막의 RF power에 따른 광학적 및 전기적 특성
반도체디스플레이기술학회지
2013 .01
Characteristics of PECVD-WNx as a Diffusion Barrier for ULSI DRAM Applications
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
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