Si3N4 기판 위에 PECVD 법으로 형성한 Tungsten Nitride 박막의 특성 ( Characteristic of PECVD-WNx Thin Films Deposited on Si3N4 Substrate )

배성찬 ,  박병남 ,  손승현 외 2명

전자공학회논문지-D

1999 .07

Ta2O5 Capacitor전극으로의 PECVD-WNx박막 적용 연구 ( Application of PECVD-WNX Electrode for Ta2O5 Capacitor )

박병률 ,  이명범 ,  이현덕 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

Characteristics of PECVD-WNx as a Diffusion Barrier for ULSI DRAM Applications

Byung Lyul Pa ,  k ,  Young Sun Kim 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

반응성 스퍼터링 법으로 제조된 WNx 막의 결정 구조

이종하 ,  최병호

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure

Kim ,  Yong-Tae ,  Sim 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

PROPERTIES OF AMORPHOUS WNx THIN FILMS PREPARED BY RF MAGNETRON SPUTTRING

Han ,  K.Y. ,  Choi 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Al/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(2)

이철진 ,  엄문종 ,  라용춘 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

통계적 기법을 이용한 선택적 CVD 텅스텐 공정 최적화 연구 ( The Optimization of the Selective CVD Tungsten Process using Statistical Methodology )

황성보 ,  최경근 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1993 .12

AI/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(1)

이철진 ,  엄문종 ,  라용춘 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

접합층을 이용한 선택 텅스텐 화학기상증착 공정연구 ( A Study of Selective W-CVD Process Using the Glue Layer )

최경근 ,  황성보 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .12

Effects of Low Resistivity TiN as a Wetting Layer on Submicron Via Contact Filling Process

Young Jung Kim ,  Heon Do Kim ,  Sang Ho Yu 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Fine Patterning of CVD Tungsten Using Various Mask Materials

J. G. Lee ,  C. H. Kang ,  J. K. Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

WNx 에미터 전극을 갖는 자기정렬 AlGaAs / GaAs HBT의 제작과 특성 ( Fabrication and Characteristics of Self-aligned AlGaAs / GaAs HBT using WNx , as emitter metal )

이종민 ,  이태우 ,  박문평 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구

전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH

Chenming Hu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Au/Nb/WNx(Si)/GaAs Schottky 접합의 열안정성

정진영 ,  고경현 ,  안재환 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

갈륨비소위에 플라즈마 화학 증착한 텅스텐 박막의 특성연구 ( Properties of Tungsten Films Grown on GaAs by PECVD )

홍종성 ,  김용태 ,  박승철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01