반응성 스퍼터링 법으로 제조된 WNx 막의 결정 구조

이종하; 최병호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이종하 (금오공과대학교 재료.금속공학부) 최병호 (금오공과대학교 재료.금속공학부)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 1998.1

수록면: 156 - 156 (1page)

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이종하

소속기관 금오공과대학교 재료.금속공학부

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 2 이용수 2

최병호

소속기관 금오공과대학교 신소재시스템공학부

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 19 이용수 17

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