RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )

강성준 ,  장동훈 ,  윤영섭 외 1명

전자공학회논문지-D

1997 .08

RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO₂ 박막의 제작과 특성에 관한 연구

오영석 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

RF Magnetron Reactive Sputtering법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )

오영석 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

RF Magnetron Reactive Sputtering 법으로 제작한 BST 박막의 전기적 및 계면 특성에 관한 연구 ( Electrical and Interface Characteristics of BST Thin Films Grown by RF Magnetron Reactive Sputtering )

강성준 ,  장동훈 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1998 .05

스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구

성현호 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Tin Nitride Thin Films Fabricated by Reactive RF Magnetron Sputtering at Various Nitrogen Gas Ratios

Sujin Choi ,  Juyun Patk ,  Jisoo Kang 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Properties of SrBi2Ta2O9 Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method

이상열 ,  장호정 ,  장지근

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

The Characteristics of Cu₂O Thin Films Deposited Using RF-Magnetron Sputtering Method with Nitrogen-Ambient

Seong Hyun Lee ,  Sun Jin Yun ,  Jung Wook Lim

[ETRI] ETRI Journal

2013 .12

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01