ELECTROMIGRATION STUDY OF Al THIN FILMS DEPOSITED ON LOW DIELECTRIC POLYIMIDE AND $SiO_2$ ILD

Eun, B.S.; Kim, Y.H.

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Eun, B.S. (Dept. of Mat. Eng., Hanyang Univ.) Kim, Y.H. (Dept. of Mat. Eng., Hanyang Univ.)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 IUMRS-ICEM ABSTRACT BOOK

발행연도: 1998.1

수록면: 1,043 - 1,043 (1page)

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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Kim, Y.H.

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