층간절연막으로서 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성

이문근; 이곤재; 최덕균

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이문근 이곤재 최덕균

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1998년도 추계 학술발표회 초록집

발행연도: 1998.11

수록면: 27 - 28 (2page)

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폴리이미드 유기초박막의 유전특성에 관한 연구

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