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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제16권 제3호
발행연도
2003.1
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The Sr0.7Bi2.6Ta2O9(SBT) thin films are deposited on Pt-coated electrode(Pt/TiO2/SiO2/Si) using RF magnetron sputtering method. The structural and electrical properties of SBT capacitors were influenced with annealing atmosphere. In the XRD pattern, the SBT thin films in all annealed atmosphere had (105) orientation. In the SEM images, Bi-layered perovskite phase was crystallized in all annealing atmosphere and grains largely grew in oxygen annealing atmosphere. The maximum remanent polarization and the coercive electric field in oxygen annealing atmosphere are 12.40[μC/cm2] and 30[kV/cm] respectively. The dielectric constant and leakage current density of capacitors annealed oxygen atmosphere are 340 and 2.13×10-9 [A/cm2] respectively. The fatigue characteristics of SBT capacitors did not change up to 1010 switching cycles.
#Rf magnetron sputter method #SBT #Thin films #Coercive field #Annealing atmosphere

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