실리콘을 이온주입한 칼륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1987 .01

실리콘을 이온주입한 갈륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1987 .01

절연층상에 인을 주입시킨 실리콘 박막의 RTA 방법에 의한 재결정화

김춘근 ,  김현수 ,  김용태 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

절연층상에 인을 주입시킨 실리콘 박막의 RTA방법에 의한 재결정화 ( Recrystallization of Phosphorus Ion Implanted Silicon on Insulator ( SDI ) by RTA Method )

김춘근 ,  김현수 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

Slip 현상을 줄이기 위한 RTA ( 고속열처리 ) 장치 설계모델링 ( RTA System Design Modeling to Reduce Slip )

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Slip 현상을 줄이기위한 RTA(고속열처리)장치 설계모델링

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

산화물 박막 커패시터의 RTA 처리와 유전 특성에 관한 연구

김인성 ,  이동윤 ,  조영란 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

RTA에 따른 Sr_0.7Bi_2.3Nb₂O₉ 박막의 표면특성

김진사 ,  서동수 ,  신철기 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

반응로 벽면 반사효과를 고려한 RTA 설계 ( RTA design considered reactor side wall reflex effect )

장현룡 ,  권경섭 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향

문환성 ,  한성욱 ,  박상균 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RTA 공정을 이용한 Cu₂ZnSnSe₄ 광흡수층 박막 제조

신기식 ,  정국영 ,  곽지혜 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2013 .05

RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작 ( Design of Boron Diffusion Simulator Applicable for RTA )

김재영 ,  홍신남

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작

김재영 ,  홍신남

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

RTA 시스템에서의 온도제어와 웨이퍼상의 온도분포 Simulation ( Temperature Control and Wafer Temperature Distribution Simulation in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

전자공학회논문지

1988 .06

저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n접합의 열처리 조건에 따른 특성

김재영 ,  이충근 ,  홍신남 외 2명

전자공학회논문지-SD

2004 .05

금속 유도 측면 결정화를 이용한 박막 트랜지스터의 RTA 후속열처리 효과

최진영 ,  윤여건 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

RTA 후속 열처리에 의한 $Ta_{2}O_{5}-Si$ 계면 반응과 전기적 특성 변화

전석룡 ,  이정엽 ,  한성욱 외 1명

한국재료학회지

1995 .01