분자 동역학을 이용한 점 결함 및 극 저 에너지 실리콘 이온 주입에 관한 연구

Jeong-Won Kang ,  Myung-Sik Son ,  Ki-Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

분자 동역학을 이용한 점 결함 및 극 저 에너지 실리콘 이온 주입에 관한 연구 ( A Study on the Silicon Point Defects and Ultra-Low Energy Si Ion Implantation using Classical Molecular Dynamics )

Jeong Won Kang ,  Myung Sik Son ,  Ki Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

A Study on the Ultra-Low Energy Ion Implantation Using Classical Molecular Dynamics Simulation

강정원 ,  손명식 ,  강유석 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

< 100 > 방향 실리콘 단결정에서의 저 에너지 붕소 이온 주입 공정에 대한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션 및 마스크 효과 ( Three-dimensional Monte Carlo Simulation and Mask Effect of Low-Energy Boron Ion Implantation into < 100 > Single-Crystal Silicon )

손명식 ,  이준하 ,  송영진 외 1명

전자공학회논문지-A

1995 .08

GSI소자 개발을 위한 극 저 에너지 이온 주입에 대한 분자 역학 시뮬레이션 ( Molecular dynamics simulation of ultra-low energy ion implantation for GSI device technology development )

강정원 ,  손명식 ,  황호정

전자공학회논문지-D

1998 .03

이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우

에너지공학

2009 .06

국부 셀 격자 결함 모델을 사용한 극 저 에너지 이온 주입에 관한 연구 ( A Study on the Ultra-Low Energy Ion Implantation using Local Cell Damage Accumulation Model )

권오근 ,  강정원 ,  황호정

전자공학회논문지-D

1999 .07

금속이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우 ,  김남경 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .06

단결정 실리콘 < 100 > 에서의 저 에너지 Boron 주입을 위한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션 ( A Three-dimensional Monte Carlo simulation of Low-Energy Boron implantation into < 100 > single-Crystal silicon )

손명식 ,  이준하 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

비소이온주입에 의해 선 무정형화된 실리콘 속으로 이온주입된 붕소원자의 농도분포

박인순 ,  권상직 ,  신영화

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

단결정 실리콘 <100> 에서의 저 에너지 Born 주입을 위한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션

손명식 ,  이준하 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

1 MeV 고에너지로 붕소 ( Boron ) 와 인 ( Phosphorus ) 을 이온주입 시 급속 열처리에 따른 도핑 프로파일 ( A Study on Boron and Phosphorus Doping Profile by RTA using 1MeV High Energy Ion Implantation )

강희원 ,  전현성 ,  노병규 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

1MeV 고에너지로 붕소(Boron)와 인(Phosphorus)을 이온주입 시 급속 열처리에 따른 도핑 프로파일

강희원 ,  전현성 ,  노병규 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

실리콘 웨이퍼의 이온주입각 변화에 의한 이온반사율에 관한 연구

姜龍哲 ,  李愚宣 ,  朴榮俊

전기학회논문지

1991 .06

실리콘에 붕소의 고에너지 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구

정원채

전기전자재료학회논문지

2002 .01

이온 주입된 프로파일의 3-D의 해석적인 모델에 관한 연구

정원채 ,  김형민

전기전자재료학회논문지

2012 .01

저 에너지 Boron 이온 주입 공정에 대한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션

손명식 ,  권오근 ,  이준하 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성

박창준 ,  서용진 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2003 .01

연속 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션

손명식 ,  박수현 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1998 .11