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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
51 - 52 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2001

Thermal CVD법을 이용한 3C - SiC / 6H - SiC 이종박막 성장
장성주 ,  박주훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

1997

Thermal CVD 방법에 의한 SiC 동종박막 성장에 관한 연구
장성주 ,  설운학 ,  정준익 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

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플라즈마를 이용한 β-SiC 나노분말 개발과 SiC 물질 수요량
유인근 ,  유석재 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 .08
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이상필 ,  이진경 ,  손인수 대한기계학회 춘추학술대회 2012 .02
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조창우 ,  황선민 ,  이승환 외 3명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2012 .11

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