RF 스퍼터링으로 Si 기판위에 제작된 ZnO 박막에서ZnO 버퍼층의 가스분위기 영향

박태은 ,  홍순구 ,  공보현 외 1명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향

조용준 ,  박안나 ,  이종무

한국재료학회지

2006 .01

RF-sputter를 이용하여 (001)Si 기판위에 성장한 ZnO박막에 성장온도, 공정가스비, 저온버퍼가 미치는 영향

김강복 ,  이수만 ,  고항주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 증착 중 미리 가열된 기판의 자연냉각 효과

朴成賢 ,  李能憲

전기학회논문지

2007 .05

ZnO buffer 층을 이용한 초음파 분무열분해 ZnO 박막 증착

한인섭 ,  박일규

한국재료학회지

2017 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

박재완 ,  박유미 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

N-doped ZnO 박막의 미세 구조 특성

이은주 ,  Rui ,  ui Zhang 외 2명

한국정보통신학회논문지

2009 .11

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구

손지훈 ,  김상현 ,  김홍승 외 1명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2013 .01

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자용 ZnO 박막의 특성

김선영 ,  이능헌 ,  김수길 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Buffer layer 두께가 ZnO 박막의 특성에 미치는 영향

홍장혁 ,  방규혁 ,  황득규 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$Al_2O_3/Si$ (100) buffer layer위에 증착된 ZnO 박막의 후속 열처리에 따른 특성 변화

김초롱 ,  이재엽 ,  임재영 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구

이승환 ,  유윤식

전기전자재료학회논문지

2012 .01