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Crystalline and micro-structural characteristics of ZnO thin films which were deposited on p-Si(l00) with cooling naturally down of pre-heated substrate during RF magnetron sputter deposition, were investigated by XRD and SEM in this paper. The film which was prepared on the substrate which was pre-heated to 400℃ before deposition and then cooled naturally down during deposition, showed the most outstanding c-axis preferred orientation. The ZnO thin film having the best crystalline result were applied to SMR type FEAR device and resonance properties of the device were investigated by network analyzer. It showed that resonance frequency was 2.05 ㎓, return loss was -30.64 ㏈, quality factor was 3169 and electromechanical coupling factor was 0.4 %. This deposition method would be very useful for application of surface acoustic wave filter or film bulk acoustic wave resonator.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
3. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (13)
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1. [학술지(정기간행물)] - / 1990. / Thin-film ZnO micro-mechanical actuator at low frequencies a21-a23 : 226 ~
2. [학술지(정기간행물)] - / 1989. / Thick film ZnO resistive gas sensors 136 (7) : 1945 ~
3. [학술지(정기간행물)] - / 1991. / Substrate temperature dependence of electrical properties of ZnO Al epitaxial films on sapphire 69 : 2190 ~
4. [학술지(정기간행물)] - / 1984. / Electrical and optical properties of zinc oxide thin films prepared by magnetron sputtering for transparent electrode applications 55 (4) : 1029 ~
5. [학술지(정기간행물)] - / / Highly conducting transparent thin films based on zinc oxide 11 (7) : 1659 ~
2. [학술지(정기간행물)] - / 1989. / Thick film ZnO resistive gas sensors 136 (7) : 1945 ~
3. [학술지(정기간행물)] - / 1991. / Substrate temperature dependence of electrical properties of ZnO Al epitaxial films on sapphire 69 : 2190 ~
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