FBAR 소자제작을 위한 ZnO 박막 증착 및 특성

신영화 ,  권상직 ,  김형준

전기전자재료학회논문지

2005 .01

수소의 영향에 따른 FBAR용 ZnO 박막의 구조적, 전기적 특성

전영아 ,  노광수 ,  윤영수

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

ALD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자의 ZnO 박막증착 및 특성

신영화 ,  권상직 ,  윤영수

전기전자재료학회논문지

2005 .01

FBAR devices for RF bandpass filter applications

Gi-Wan Yoon ,  Sung-Chang Choi

한국정보통신학회논문지

2001 .12

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

FBAR 필터 응용을 위한 Al 하부전극 상에서 ZnO 박막 증착 및 온도가 ZnO 결정의 성장에 미치는 영향

윤기완 ,  임문혁 ,  채동규 외 1명

한국정보통신학회논문지

2003 .04

RF필터 응용을 위한 반사층 구조를 갖는 FBAR의 제작

서병철 ,  박상현 ,  박희대 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1999 .07

RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 SMR 구조 FBAR 소자의 Bragg 반사층의 미세구조 특성에 관한 연구

박성현 ,  이순범 ,  이능헌 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

RF MEMS 기법을 이용한 US PCS 대역 FBAR BPF 개발

박희대

전자파기술

2003 .07

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

희생층과 압전층의 면적변화에 따른 ZnO 압전박막을 이용한 Air-gap type FBAR의 특성

고성용 ,  장철영 ,  최현철 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

박재완 ,  박유미 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Fabrication Techniques & Resonance Characteristics of FBAR Devices

Giwan Yoon ,  Hae-il Song ,  Jae-young Lee 외 2명

한국정보통신학회논문지

2007 .11

RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

2㎓ 대역 RF 대역통과 필터 응용을 위한 AIN 압전 박막을 이용한 FBAR 소자

윤기완 ,  임문혁 ,  채동규 외 2명

한국정보통신학회논문지

2003 .04

FBAR 소자의 압전층으로 사용되는 ZnO 박막의 증착시 ALD를 이용한 2-step법 적용에 관한 연구

이순범 ,  박성현 ,  이능헌 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07