고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

N-doped ZnO 박막의 미세 구조 특성

이은주 ,  Rui ,  ui Zhang 외 2명

한국정보통신학회논문지

2009 .11

2단계 증착법을 이용하여 증착한 ZnO 박막의 열처리 효과 분석

이진복 ,  이명호 ,  이혜정 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

RF 마그네트론 스퍼터링으로 Si(111) 기판위에 증착한 ZnO 박막의 특성향상을 위한 buffer 층의 도입에 따른 영향

박태은 ,  조형균 ,  김영이 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering

Kook ,  Hong-Mo ,  Kim 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

고속ㆍ저온 스퍼터링법으로 제작된 ZnO 박막의 c-축 배향성

금민종 ,  손인환 ,  장경욱 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 증착 중 미리 가열된 기판의 자연냉각 효과

朴成賢 ,  李能憲

전기학회논문지

2007 .05

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

박재완 ,  박유미 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

2단계 증착 방법에 의한 ZnO 박막의 c-축 배향성 및 비저항 향상에 관한 연구

이혜정 ,  이명호 ,  이진복 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

RF 스퍼터를 이용하여 ZnO 증착 시 기판의 냉각율이 박막의 c-축 배향성에 미치는 영향

朴成賢 ,  李能憲

전기학회논문지 C

2006 .12

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01

Influence of substrate temperature on the properties of Al doped ZnO(ZnO:Al) thin films deposited by direct current magnetron sputtering

Koo ,  Hong-Mo ,  Bang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01