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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제12호
발행연도
2012.1
수록면
979 - 983 (5page)

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본 논문에서는 PLD와 RF 스퍼터링 방법을 이용하여 SAW filter용 ZnO 박막을 제작하였고 그 특성을 연구하였다. ZnO 박막은 PLD 방법으로 sapphire기판 위에 seed 층을 증착 후 스퍼터링 방법으로 재증착하였다. ZnO 박막의 구조적 특성과 표면특성을 분석하기 위해 XRD, SEM, AFM 등을 사용하였다. 최소 표면거칠기는 1.92nm이고, rocking curve는 0.92°로 측정되었다. ZnO 박막을 이용하여 대역폭이0.97㎒이고 중심주파수가 18.72㎒인 SAW filter를 제작하였다.
#SAW filter #PLD #RF magnetron sputter #ZnO

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A. V. Oppenheim / 1975 / Digital Signal Processing / Prentice-Hall : 277 ~ google schola B. A. Auld / 1973 / Acoustic Fields and Waves in Solids / John Wiley and Sons : 101 ~ google schola B. T. Khuri?Yakub / 1975 / / J. Appl. Phys. 46 : 3266 ~ google schola F. K. Shan / 2003 / Structural Properties of Zinc Oxide Thin Films by Fabrication Conditions in Pulsed Laser Deposition / Journal of the Korean Physical Society 42 (IV) : 115 google schola H. Mathews / 1977 / Surface Wave Filters / John Wiley and Sons : 120 ~ google schola

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