라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 In₂O₃ 박막의 특성에 산소 유량비의 변화가 미치는 효과

곽준호; 조신호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 곽준호 (신라대학교) 조신호 (신라대학교)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제3호

발행연도: 2010.5

수록면: 224 - 229 (6page)

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산소 유량비의 변화가 라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링 방법으로 유리 기판 위에 증착된 In₂O₃ 투명 전도막의 특성에 미치는 효과를 조사하였다. 증착 온도는 400℃로 고정하였으며, 스퍼터링 가스와 반응성 가스로 각각 아르곤과 산소 가스를 사용하였다. 산소 유량비는 공급되는 혼합 가스양에 대한 산소의 유량으로 선택하여 10%, 20%, 30%, 40%, 50%로 조절하였다. 증착된 박막의 광학, 전기, 구조적인 특성은 자외선-가시광 분광기, 홀 측정 장치, X-선 회절장치와 전자주사현미경으로 조사하였다. 산소 유량비 20%로 증착된 In₂O₃ 박막은 430∼1,100 ㎚ 파장 영역에서 86%의 투과율과 1.1×10<SUP>-1</SUP> Ω㎝의 비저항 값을 나타내었다. 실험 결과는 산소 유량비를 적절히 제어함으로써 최적의 조건을 갖는 투명 전도막을 성장시킬 수 있음을 제시한다.

#In₂O₃ 박막 #라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링 #산소 유량비 #In₂O₃ thin film #RF reactive magnetron sputtering #Oxygen flow ratio

참고문헌 (18)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - 조신호 / 2009 / Effects of Growth Temperature on the Properties of ZnO Thin Films Grown by Radio-frequency Magnetron Sputtering / Transactions on Electrical and Electronic Materials 10 (6) : 185 ~ 188

2. [학술지(정기간행물)] - 김희수 / 2009 / ALD로 성장된 ZnO박막에 대한 질소이온 조사효과 / 한국진공학회지 18 (5) : 384 ~ 389

3. [학술지(정기간행물)] - T. Moriga / 2005 / / Thin Solid Films 486 : 53 ~

4. [학술지(정기간행물)] - V. Senthilkumar / 2010 / Annealing temperature dependent on structuraloptical and electrical properties of indium oxide thin films deposited by electron beam evaporation method / Current Applied Physics 10 (3) : 880 ~ 885

5. [학술지(정기간행물)] - P. Malar / 2005 / / Thin Solid Films 488 : 26 ~

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곽준호

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조신호

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