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반응성 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 AlN 압전박막 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 BST 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CdS박막의 기판 온도와 열처리 온도 변화에 따른 구조적 및 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AlN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
Growth of AlN Thin Film on Sapphire Substrates and ZnO Templates by RF-magnetron Sputtering
Applied Science and Convergence Technology
2010 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 FeSu₂ 박막의 기판 온도에 따른 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
기판온도에 따른 AlN 박막의 결정학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
폴리머 애자의 자기세정 응용을 위한 듀얼 마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 증착되어진 TiOx 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
산소 유량비 변화에 따른 AlN 박막의 구조, 표면 및 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2010 .07
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
고주파 스퍼터링 방법으로 금속기판 위에 증착된 AlN박막의 질소가스 분압비에 따른 경도와 박막 표면의 배향성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 SrTiO₃ 박막의 계면 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
마그네트론 스퍼터링 타겟 표면의 온도 변화에 대한 수치 모델과 측정 비교 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
DC 마그네트론 스퍼터링으로 플리머 기판에 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
이온빔 - 보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
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