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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 30 - 34 (5page)
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라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ITO박막의 열처리에 따른 표면구조, 결정, 전기 및 광학적 특성을 조사하였다. 저온에서 증착한 시료를 챔버에서 50℃, 100℃, 150℃, 200℃, 250℃로 2시간 동안 열처리하였다. 열처리에 따른 박막의 결정구조, 전기 및 광학적 특성은 X-선회절 장치, 전자주사현미경, 원자현미경, 저항 측정기를 사용하여 조사하였다. 열처리 온도 150℃에서 450∼900 ㎚ 파장의 평균 투과율이 87% 이상 되었으며, 동일 온도 이상에서 ITO박막의 결정이 형성되었고, 저항이 18 Ω㎝로 감소함을 알 수 있었다. 실험결과로 부터 저온 증착된 ITO박막의 전기 및 광학적 특성 향상을 위해서는 적정온도 이상에서의 열처리가 필요하다는 결론을 얻었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - X. Wu / 1996 / / Thin Solid Films 286 : 274 ~
2. [학술지(정기간행물)] - H. T. Yoon / 2002 / / Thin Solid Films 411 : 12 ~
3. [학술지(정기간행물)] - H. Kim / 2002 / / Thin Solid Films 420 : 107 ~
4. [학술지(정기간행물)] - B. Ren / 2006 / / Rare Metals 25 : 137 ~
5. [학술지(정기간행물)] - 곽준호 / 2010 / 라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 In2O3 박막의 특성에 산소 유량비의 변화가 미치는 효과 / 한국진공학회지 19 (3) : 224 ~ 229
2. [학술지(정기간행물)] - H. T. Yoon / 2002 / / Thin Solid Films 411 : 12 ~
3. [학술지(정기간행물)] - H. Kim / 2002 / / Thin Solid Films 420 : 107 ~
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