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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제1호
발행연도
2001.4
수록면
9 - 15 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2001

미소체적을 갖는 평판표시소자용 패널내부의 잔류가스 분석
조영래 ,  오재열 ,  최정옥 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 2001.04 학술저널

2000

미소체적을 갖는 평판표시소자용 패널내부의 잔류가스 분석
조영래 ,  이진호 ,  조경익 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료

초록· 키워드

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질량분석기가 장착된 초고진공챔버를 사용하여 미소체적을 갖는 평판표시소자용 패널내부에 존재하는 잔류가스의 전체압력과 분압을 성공적으로 측정하였다. 패널내부의 전체압력은 10^(-6) Torr 범위로 측정되었으며, 전체압력의 증가에 크게 기여하는 가스분압은 아르곤, 메탄 및 헬륨 분압들 이었다. 패널의 진공패키징을 위한 배기공정시 가열온도는 고진공패키징에 있어서 매우 중요하며, 가열배기 온도가 높을수록 전체압력과 메탄분압은 감소하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 토의

4. 결론

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