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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
S. S. Hong (한국진공센터) Wakil Khan (한국진공센터) S. W. Kang (한국진공센터) J. Y. Yun (한국진공센터) Y. H. Shin (한국진공센터)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제1호
발행연도
2010.1
수록면
1 - 9 (9page)

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진공게이지의 비교교정 방법으로 교정이 가능하고-비교교정은, 2차표준기라고 부르는 교정되어진 게이지와 교정할 다른 게이지의 지시값을 읽어 비교는 방법- 다른 진공관련 실험을 할 수 있는 기체 유량 시스템을 개발하였다. 교정시스템에의 진공용기는 터보분자펌프(TMP)에 의해서 배기하고, 후면에 스크롤펌프를 배치하여 배기시스템을 꾸몄다. 터보분자펌프의 최대 허용가능 압력은 펌프의 주입구에서 0.1 ㎩까지이며, 이보다 압력이 높아지면 배기속도가 감소하며 압력대 이하의 환경을 조절하기가 매우 어렵게 된다. 현재 133 Pa까지의 높은 압력을 발생시킬 수 있는 새롭게 개발된 기체유량조절시스템은 바이패스 라인에 맞도록 설계된 컨덕턴스-리듀서를 설치하여 터보분자펌프를 안전하게 운용할 수 있도록 하였다. 추가로 진공용기안에 전체압력 범위(0.1 ㎩ ∼ 133 ㎩)의 압력을 생성하며 기체 주입과 압력구배를 연구하였다. 압력의 최대 편차는 용기의 위쪽 방향에 위치한 가스 주입구에서 가까운 위치 C에서 1.6%로 나타났다.
#Vacuum chamber #Pressure differences #Pressure limit #Conductance-reducer #진공 용기 #압력차이 #압력한계 #콘덕턴스 reducer

목차

Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. THEORY
Ⅲ. EXPERIMENTAL SET-UP
Ⅳ. RESULTS AND DISCUSSION
Ⅴ. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES

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