산소분압비에 따른 ZnO 박막의 성장특성

강만일; 김문원; 김용기; 류지욱; 장한오

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강만일 김문원 김용기 류지욱 장한오

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제3호

발행연도: 2008.5

수록면: 204 - 210 (7page)

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산소분압비에 따른 ZnO 박막의 성장특성을 알아보기 위해 RF 스퍼터링 시스템을 이용하여 0%~30%의 산소분압비로 박막을 제작하였다. 위상변조방식의 분광타원계를 이용하여 1.5~3.8eV 범위에 걸쳐 타원상수를 측정하였고, TL 분산관계식을 이용하여 최적맞춤한 결과 박막과 표면기칠기층의 두께, void 비율을 알 수 있었고, ZnO 알갱이의 크기는 산소분압비의 증가에 따라 그 크기가 작아짐을 알 수 있었다. 산소분압비에 따른 ZnO 박막의 밴드 갭은 산소유입량의 증가에 따라 증가하여 ZnO 박막의 광흡수 특성이 산소분압비에 크게 의존함을 알았고, 산소분압비의 증가는 결정의 불완전성을 증가시키는 것으로 나타났다.

#ZnO #분광타원법 #RF 스퍼터링 #Tauc-Lorentz #spectroscopic ellipsometry #RF sputtering

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1. [학술지(정기간행물)] - F. K. Sahn / 2004 / J. Kor. Phys / Soc 44 (1215)

2. [기타자료] - T. Minami / 2000 / Thin Solid Films 63

3. [학술지(정기간행물)] - F. C. M. Van de Pol / 1990 / Am. Ceram. Soc / Bull 69 (1959)

4. [학술지(정기간행물)] - F. S. Hickernell / 1973 / J. Appl / Phys 44 (1061)

5. [학술지(정기간행물)] - S. Ono / 1978 / Appl. Phys / Lett 33 (217)

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