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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제3호
발행연도
1995.9
수록면
247 - 252 (6page)

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진공측정용 센서의 크기보다 더 작은 미세소자 내부의 진공도를 계산에 의해 간접적으로 구하는 방법을 제시하였다. 평판디스플레이용 진공판넬의 설계에 본 연구의 결과를 적용하는 방법에 대해 연구하였으며, 판넬의 진공도는 판넬과 배기장치의 형상에 강하게 의존하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 이론적 배경

3. 모델실험

4. 모델실험의 결과 및 고찰

5. 결론

참고문헌

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