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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제13권 제4호
발행연도
2004.12
수록면
139 - 144 (6page)

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최근에는 진공공정에서 용기내의 청정도와 잔류기체의 부분압에 대한 관심이 높아지고 있다. 본 연구에서는 청정진공 발생에 많이 사용되고 있는 크라이오 펌프의 냉각판 온도에 따른 H₂, He, C, N, O₂, H₂O, Ar/2, N₂(CO), Ar, CO₂의 부분압을 잔류기체분석기로 측정하여 비교하였다. 크라이오 펌프를 켜고 약 72분이 지났을 때 펌프의 냉각판 온도가 12 K에 도달하였으며, 25 시간이 경과하여 온도가 충분하게 낮아졌을 때 부분압은 H₂, He, C, N, O₂, H₂O, Ar/2, N₂, Ar, CO₂ 순으로 24.9 %, 6.6 %, 5.5 %, 2.2 %, 3.8 %, 30.7 %, 6.5 %, 6.1 %, 5.5 %, 8.2 %로 H₂와 H₂O 압력이 상대적으로 높은 것을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

참고문헌 (1)

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[학술지(정기간행물)] - / 2000 / Vacuum Engineering : 270 ~ google schola

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