10-10 torr까지의 초고진공 표준 확립

홍승수; 임재영; 박재홍; 신용현; 이철로; 정광화

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자료유형: 학술저널

저자정보: 홍승수 임재영 박재홍 신용현 이철로 정광화

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제2권 제2호

발행연도: 1993.6

수록면: 139 - 144 (6page)

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동적교정방법을 이용하여 10^(-7)~10^(-10)torr 영역에서 교정 가능한 초고진공 표준기를 제작하였다. 10^(-6)~10^(-9)torr L/s 영역의 극미세 유량은 고진공 표준기에 porous plug를 연결하여 발생 제어시켰으며 일정한 배기속도를 유지함이 알려져 있는 refrigerator type cryopump를 이용하여 3×10^(-11)torr의 base pressure를 얻을 수 있었다. 이 초고진공 표준기를 이용하여 두 개의 extractor gauge와 자체 제작한 nude 이온게이지들을 교정하고 그 직선성 및 재현도를 살펴보았다.

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