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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제2호
발행연도
1996.6
수록면
161 - 168 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

극미세 전자소자 박막배선 재료 개선을 위한 엘렉트로마이그레이션 현상에 미치는 절연보호막 효과
박영식 ,  김진영 Applied Science and Convergence Technology 1996.06 학술저널
Al - 1%Si 박막배선의 구조 효과와 절연보호막 효과에 관한 연구
박영식 ,  김진영 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.02 학술대회자료

초록· 키워드

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극미세 전자소자 박막배선의 재료 개선을 위하여 절연보호막 효과가 엘렉트로마이그레이션 현상에 미치는 영향에 관하여 연구하였다. Al-1%Si을 배선 재료로 사용하여 여러 가지 형태의 배선을 제작하였고, SiO₂를 근거로 하여 다양한 구조의 절연보호막을 증착하였다. 직선형배선이 선폭과 면적에 변화가 있는 배선에 비해 2~5배 정도의 긴 수명시간을 갖는다. 즉 미세구조의 불균일성에 의한 원자선속구배의 증가와 전류의 크라우딩효과가 박막배선의 수명시간을 단축시킨다. 절연보호막은 증착 물질의 차이나 증착 두께에 의존하는 수명시간을 갖는다. SiO₂층위에 PSG의 절연보호막을 증착한 시편이 Si₃N₄를 증착한 시편보다 긴 수명시간을 보인다. 이는 SiO₂층위에 PSG층이 박막에서의 스트레스를 줄여 주고, 습기나 sodium과 같은 mobile ion에 대한 저항성을 증가시켜 주기 때문으로 사료된다. 또한 동일한 증착 물질인 경우, 증착 두께에 비례하는 수명시간 의존성을 나타내었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

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