메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제10회 학술발표회논문개요집
발행연도
1996.2
수록면
97 - 98 (2page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

극미세 전자소자 박막배선 재료 개선을 위한 엘렉트로마이그레이션 현상에 미치는 절연보호막 효과
박영식 ,  김진영 Applied Science and Convergence Technology 1996.06 학술저널
Al - 1%Si 박막배선의 구조 효과와 절연보호막 효과에 관한 연구
박영식 ,  김진영 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.02 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
Al-l%Si 박막배선의 구조와 절연보호막이 EM에 미치는 효과를 알아보기 위해 두 가지 종류의 패턴을 형성하였고 그 위에 세 가지 구조를 갖는 절연보호막을 증착하여 시편을 제작하였다. 배선은 1000 ㎛의 길이에 2.0, 4.28 ㎛의 선폭을 갖는 직선형패턴과 같은 길이에 선폭의 변화가 있는 SWEAT(Standard Wafer-level Electromigration Acceleration Test)형의 패턴, 두 종류이다. SWEAT형 배선은 large area link와 narrow line으로 구성되어있다. SWEAT형 배선의 large area link 의 형태를 diamond형과 rectangular 형으로 제작하고, 면적을 12×12 ㎛², 12×24 ㎛²와 12×36 ㎛²의 세 가지로 제작하여 박막배선의 구조와 면적에 따른 평균수명시간(Mean-Time-to-Failure, ... 전체 초록 보기

목차

요약

실험결과

결론

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018024128