Al, Al - 1%Si, Ag, Cu 박막금속화에서의 SiO₂ Passivation 효과.

김대일; 김진영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김대일 김진영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제5회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.7

수록면: 80 - 81 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1994

초고집적 Sub micron 박막금속화를 위한 Dielectric Overlayer의 Passivation 효과

김대일 , 김진영 Applied Science and Convergence Technology 1994.03 학술저널

1993

Al, Al - 1%Si, Ag, Cu 박막금속화에서의 SiO₂ Passivation 효과.

김대일 , 김진영 한국진공학회 학술발표회초록집 1993.07 학술대회자료

1992

Ag, Cu 박막금속화에서의 역 엘렉트로마이그레이션에 관한 연구

김대일 , 김진영 한국진공학회 학술발표회초록집 1992.02 학술대회자료

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이 논문의 저자 정보

김대일

소속기관 울산대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 81 이용수 2,489

김진영

소속기관 한국과학기술연구원

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 TOP 5% 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 165 이용수 6,060

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